Zuverlässig in sensiblen Anwendungen
In der Halbleiterfertigung ist der Umgang mit hochreinen Medien und aggressiven Chemikalien alltäglich. Gleichzeitig gelten strengste Anforderungen an Dichtheit, Beständigkeit und Automatisierbarkeit. EBRO bietet passende Lösungen für jede Phase des Wassermanagements – von der UPW-Aufbereitung bis zur Abwasserbehandlung – sowie für Versorgungsprozesse wie Kühlung und Gasverteilung.
Technik für Beständigkeit und Sicherheit
In der Halbleiterfertigung ist der Umgang mit hochreinen Medien und aggressiven Chemikalien alltäglich. Gleichzeitig gelten strengste Anforderungen an Dichtheit, Beständigkeit und Automatisierbarkeit. EBRO bietet passende Lösungen für jede Phase des Wassermanagements – von der UPW-Aufbereitung bis zur Abwasserbehandlung – sowie für Versorgungsprozesse wie Kühlung und Gasverteilung.
Anwendungsbereiche
Unsere Armaturen kommen in allen relevanten Bereichen der Halbleiterindustrie zum Einsatz:
Rohwasseraufnahme
UPW-Vorbehandlung und -Politu
Prozess- und Abwassermanagement
Kühlkreisläufe und Glykolanwendungen
Gasverteilungssysteme, z. B. CDA (Clean Dry Air)